含氟准分子激光气体(PDF)

• 准分子激光气是多组份混合气体，其输出波长是稀有气体（或卤素）结合作用的结果。准分子是稀有气体（或卤化物）的分子的名称。通过含氟准分子激光气体能产生四种波长的光波（或谱线）。