一氧化碳 Carbon Monoxide Gas 
CO 
UN1016

• 一氧化碳主要应用于包括“氮化硅蚀刻”等多种半导体生产工艺中，以增加 选择性，在氧化过程中可作为氧的来源并且在“半导体掺杂质工艺”中可提供炭。 一氧化碳是一种无色、无嗅、易燃、有毒的气体。一氧化碳性质稳定不易分解。
   
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