三氟化氮(ULSI 等级) 
Nitrogen Trifluoride Gas(ULSI grade) 
NF3 
UN2451

• 三氟化氮在半导体加工容器的清洗中提供氟或氟化氮自由基。三氟化氮 是氧化能力很强的有毒气体。

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