氘代硅烷被应用于十亿字节随机存储器的生产中，以作为一种不含氢的 硅材料来源。当氢成为晶格一部分时，对于高速运转的晶格门是不利的。晶格中的 氘可形成屏障阻止“热电子效应”引起损坏，从而延长了器件的使用寿命。氘代硅烷是有毒、易燃的气体，TLV（极限值）为百万分之0.5。氘代硅烷也可用来研究氢的热力学性质和结合比例