二氟甲烷 Difluoromethane Gas CH2F2 UN3252二氟甲烷在射频等离子体处理过程中可作为蚀刻CF自由基的来源。 二氟甲烷在常温常压下是无毒、易燃气体。二氟甲烷PDF下载要得到更多的信息请与Spectra的客户服务部联系:TEL:+86-755-61356493;FAX:+86-755-61356496