三氟甲烷 Trifluoromethane Gas 
CHF3 
UN1984

• 三氟甲烷(CHF3), 也被称为卤烃23，是无色无嗅在空气中不燃烧的液化气 体。它用于二氧化硅或氮化物层的等离子体蚀刻，还可以与其他卤烃结合来提高蚀刻速率和稳定性。

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